【环球网科技综合报道】2018年10月17日，清华大学天津电子信息研究院，800平米的超净间实验室已开始正常运转，已经有多个项目进行着产业化研发工作，打造未来的中国“芯”。 “中心不仅面向院里的孵化企业，也面向有新产品研发需求的企业，基本上制作光电芯片需要用到的基础性实验设备都可以提供。”据光电子芯片创新中心负责人曲迪介绍，目前中心引进目前世界最先进的电子束直写设备(EBL)。该设备是国内唯一的电子束直写设备，可直写10纳米量级的图形。同时，还拥有当今最先进的聚焦离子束显微镜，同时还有薄膜沉积、等离子蚀刻、电子束蒸发等光电芯片研发设备，代表了微纳加工和结构、材料表征的世界顶级水平。